10년간 반도체 도금공정후 남은 금 부산물 '관리 부실' 의혹

(수원=국제뉴스) 김만구기자 = 김경진 의원실은 과학기술정보통신부(과기부) 산하기관인 한국나노기술원이 반도체 도금공정 등에서 사용하고 남은 수 억원대의 금(金)을 부실하게 관리했다는 이유로 과기부가 횡령여부 등에 대한 특별감사에 착수한 것으로 확인됐다.

19일 과기부와 국회 과학기술정보방송통신위원회 등에 따르면 과기부는 금 부실관리를 이유로 나노기술원을 대상으로 지난 16일부터 감사에 들어갔다.

나노기술원은 이 금 부산물을 10년 동안 창고에 쌓아두었다는 입장인데, 감사관실은 이를 제대로 관리했는지 그 과정에서 횡령, 편취 등이 있었는지를 집중 조사하는 것으로 알려졌다.

나노기술원은 지난 2008년부터 2017년까지 10년간 매년 1억3천여만원에서 7억8천여만원의(3-4억원 이상의) 순도 99.99%의 금 수십억원 어치를 구입해 반도체 공정에 사용했다.

이 금을 반도체에 입히는 장비(E-Beam Evaporator, Sputter, Au-Plating M/C))를 사용해 웨이퍼 등에 증착하는 과정에서 불순물이 섞인 금이 부산물 형태로 남게된다.

반도체 업체 관계자는 "통상 공정후 투입량 대비 5~40% 금 부산물이 생긴다"면서 "금 부산물에서 순금을 분리하기 위해 전문 위탁업체에 맡긴후 재사용한다"고 말했다.

하지만 나노기술원은 지난 2012년까지 일부 반도체공정(Sputter)에서만 전문업체를 통해 금을 회수한 것으로 알려졌다.

나머지 공정(E-Beam Evaporator, Au-Plating M/C)에서 발생한 금은 지난 10년간 회수하지 않았고, Sputter공정도 2012년 이후 금을 회수하지 않은 것으로 알려졌다.

국회 과학기술위 김경진 의원실 측은 "나노기술원에는 금 부산물 관리규정도 없고 창고에 쌓아두는 등 부실하게 관리하고 있는 것으로 파악됐다"면서 "과기부에는 정확한 감사결과서를, 나노기술원에는 관련 자료를 요구했다"고 말했다.

나노기술원 관계자는 "지난 2012년까지 일부 금 부산물은 회수해 재생했고, 그 이후에는 창고에 모아두었다"면서 "정확한 금 부산물 관리지침이 없어 만드는 중"이라고 말했다.

저작권자 © 국제뉴스 무단전재 및 재배포 금지